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“中国芯”关键材料国产化

前驱体材料

光刻胶及配套材料

六氟化硫(SF₆)

六氟化硫(SF₆)

中文名：六氟化硫
英文名：Sulfur hexafluoride
CAS号：2551-62-4
熔点：-50.8℃
沸点：-63.8℃
蒸气压：21.5atm
产品等级：电子级：5N 工业级：4.5N、5N
电子级：47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工业级：6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)

三氟化氮(NF₃)

三氟化氮(NF₃)

中文名：三氟化氮
英文名：Nitrogen trifluoride
CAS号：7783-54-2
熔点：-208.5℃
沸点：-129℃
蒸气压：>1atm
产品等级：4.6N
规格：47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)

磷烷安全源(PH₃ AGS)

磷烷安全源(PH₃ AGS)

中文名：磷烷安全源
英文名：Phosphine AGS
CAS号：7803-51-2
熔点：-133℃
沸点：-87.7℃
蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
产品等级：5N7
规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L

砷化氢(AsH₃)

砷化氢(AsH₃)

中文名：砷化氢
英文名：Arsine
CAS号：07784-42-1
熔点：-116℃
沸点：-62.5℃
蒸气压：1463kPa(20℃)
产品等级：6N、6N5
规格：40L

三氟化硼安全源(BF₃ AGS)

三氟化硼安全源(BF₃ AGS)

中文名：三氟化硼安全源
英文名：Boron Trifluoride AGS
CAS号：07784-42-1
熔点：-126.8℃
沸点：-100℃
蒸气压：1013.25kPa(-58℃)
产品等级：3N
规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L

磷化氢(PH₃)

磷化氢(PH₃)

中文名：磷化氢
英文名：Phosphine
CAS号：7803-51-2
熔点：-133℃
沸点：-87.7℃
蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
产品等级：6N、6N5
规格：44L

安全源砷烷(AsH₃ AGS)

安全源砷烷(AsH₃ AGS)

中文名：砷烷安全源
英文名：Arsine AGS
CAS号：07784-42-1
熔点：-116℃
沸点：-62.5℃
蒸气压：1463kPa(20℃)
产品等级：5N5
规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L

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